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【 2 名 同 時 申 込 で 1 名 無 料 】 対 象 セ ミ ナ ー
【Live配信セミナー(Zoom使用)】 ※会社・自宅にいながら学習可能です※
テレワーク応援キャンペーン【Live配信/WEBセミナー1名受講限定】
【Live配信(リアルタイム配信)】

『EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術』
【Live配信セミナー(Zoom)】

EUVリソグラフィーの基礎とプロセス最適化方法・評価方法
 開催日時   2022年6月23日(木) 13:00~16:00 
会 場  Live配信セミナー(会社、自宅にいながら受講可能)
受講料  44,000円 ( E-Mail案内登録価格 41,800円 )
  定価:本体40,000円+税4,000円、E-Mail案内登録価格:本体38,000円+税3,800円
※【テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
  1名申込みの場合:受講料( 定価:35,200円/E-Mail案内登録価格 33,440円 )
※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※備考欄に【テレワーク応援キャンペーン】適用を希望とご記入ください。
※他の割引は併用できません。
E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で44,000円 (2名ともE-Mail案内登録必須/1名あたり定価半額22,000円)

  受講申込要領
配布資料 製本テキスト(開催前日着までを目安に発送)
 ※セミナー資料はお申し込み時のご住所へ発送させていただきます。
 ※開催日の4~5日前に発送します。
   開催前日の営業日の夕方までに届かない場合はお知らせください。
 ※開催まで4営業日~前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、
   開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
オンライン
配信
・本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
・セミナー視聴・資料ダウンロードはマイページから
 お申し込み後、マイページの「セミナー資料ダウンロード/映像視聴ページ」に
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 開催日の【営業日2日前】より視聴用リンクと配布用資料のダウンロードリンクが表示されます。
■最近よくあるお問い合わせ■
1.受講中の、カメラのON/OFF、マイクのON/OFFについて。
  → カメラは任意です、カメラが付いていなくても受講できます(OFFで構いません)。
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備 考 ※資料付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
 得られる知識 ・EUVリソグラフィーの基礎知識
・EUVフォトプロセスの最適化方法の習得
・EUVフォトプロセスの評価方法の習得
対 象  リソグラフィー・レジスト研究者、中堅社員、若手社員で、EUV露光技術に興味のある方
主 催  サイエンス&テクノロジー 

 ※請求書等は、サイエンス&テクノロジー社より送付いたします。

 講師 大阪公立大学 大学院 工学研究科 客員教授 関口 淳 氏
[プロフィール]
 1983年3月、芝浦工業大学応用化学科卒業。1983年4月、日本ケミテック入社。分析研究所に勤務。1985年4月、住友GCA社に入社。レジスト塗布現像装置のプロセス開発に従事。その後、レジスト解析装置および形状シミュレータのシステム開発に従事。現在、リソテックジャパン(株)専務取締役。2019年4月~立命館大学客員教授、2020年4月~大阪府立大学客員教授、大阪市立大学客員教授、2022年4月~大阪公立大学、客員教授。2000年、東京電機大学にて工学博士。応用物理学会会員。高分子学会会員。
 専門は、フォトリソグラフィー、バイオミメティクス。論文多数。著書は、「感光性フォトレジスト材料の評価」「リソグラフィー技術・その40年」「ノボラックレジスト・材料とプロセスの最適化」(いずれもS&T出版)。講演多数。
 セミナーの趣旨  EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術について解説します。特に、現在、開発が進んでいる次世代EUVレジストである、メタルレジストの特徴と評価方法についても、解説します。
講義項目 1.EUVLの概要
 1.1 EUVLの概要
 1.2 EUVL用レジスト
2.アウトガス評価技術
 2.1 EUVLレジストのアウトガス評価方法
 2.2 EUVLレジストのアウトガス評価装置
3.EUVレジストの評価技術
 3.1 EUV透過率測定
 3.2 ナノパーティクル添加レジストの高感度化
 3.3 屈折率nk測定
 3.4 EUV2光束干渉露光
4.EUVメタルレジストの評価技術
 4.1 メタルレジストの概要
 4.2 EUVメタルレジストのアウトガス分析
 4.3 EUVメタルレジストの問題点
5.EUVフォトレジストと電子線レジストの感度
□ 質疑応答 □