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※本セミナーはZoomを使ったWEBセミナーです。在宅、会社にいながらセミナーを受けられます。
『レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策【LIVE配信】』
～リソグラフィの基礎、レジスト材の高性能化、評価技術、最近のリソグラフィ技術～ |
| 開催日時 |
2024年6月28日（金） 10:30～16:30 |
| 開催場所 |
【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。
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| 価格 |
非会員： 55,000円 （本体価格：50,000円）
会員： 44,000円 （本体価格：40,000円）
学生： 55,000円 （本体価格：50,000円）
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| 価格関連 |
会員の方あるいは新規会員登録していただくと、下記の割引が適用されます。
・1名申込の場合、55,000円（税込）→44,000円（税込）
・2名同時申込の場合、合計110,000円（税込）→合計55,000円（税込）
※両名の会員登録が必要です。
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| 特典 |
終了後に個別相談会（希望者のみ）あり |
| 備 考 |
・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。
無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。
【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
１）Zoomを使用されたことがない方は、こちらからミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
２）セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。
３）開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。
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| 主 催 |
R&D支援センター |
※請求書、招待メール等は、R&D支援センター社より送付いたします。
| 講師 |
（株）光機能材料研究所 代表取締役 工学博士 花畑 誠 氏
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| 受講対象・レベル |
【１】レジスト材料の研究開発、製造、品質管理、販売
【２】半導体、ディスプレイ、MEMS、センサーなどのデバイス開発、製造、販売
上記に従事されている方々（リーダークラスの方も歓迎です） |
習得できる
知識 |
・レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法
・レジストの品質管理手法
・レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力
・リソグラフィープロセスの最適化方法
・リソグラフィー使用現場におけるトラブル対応能力
・素材メーカー、レジストメーカーとしての顧客対応能力 |
| プログラム |
１． リソグラフィの基礎
（１）リソグラフィーとは
（２）露光システムとリソグラフィー装置の変遷
（３）解像度向上技術とそれに必要な材料
２．レジスト材料とその高性能化
（１）パターンニング用レジスト材料（総論）
（２）G線、i線用レジスト
（３）KrF用レジスト
（４）ArFおよびArF液浸用レジスト
（５）EUV用レジスト
（６）後工程（実装材料）用のレジスト
３．レジスト製造技術と品質管理
（１）レジスト製造技術
（２）レジストの性能安定化技術
（３）品質管理－その項目と管理方法
４．レジスト材料の評価技術
（１）性能評価
素材（樹脂、感光剤、添加物）やレジストの簡便かつ安価な評価方法をご紹介します。
（２）品質評価
顧客からの要求項目、スペック項目についての評価方法を述べます。
（３）シミュレーション技術
５．レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応
（１）素材（樹脂、感光剤、添加物）製造時のトラブル
（２）レジスト製造時のトラブル
（３）レジスト販売時のトラブル
（４）レジスト使用時のトラブル
上記のそれぞれについて、①原因、②評価方法、③解決策を、材料面およびリソグラフィープロセス面から述べ、あわせて顧客対応策について詳述します。
６．20nm以下のリソグラフィー技術
（１）ダブルパターンニング技術
（２）DSA技術とその材料
（３）ナノインプリント技術
（４）今後のリソグラフィー技術
【質疑応答】
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